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kewill超微量氣體流量計

kewill超微量氣體流量計

簡要描述:kewill超微量氣體流量計:操作 使用方便,可任意位置安裝,廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制 氣配氣等行業 。

產品型號: FGM220

產品品牌:科威勒

更新時間:2025-03-04

廠商性質:生產廠家

詳情介紹

kewill超微量氣體流量計

原理&結構

FGM220 質量流量控制器(Mass Flow Controller)是一款智能化、高精度可進行準確的質量流量控制的氣體質量流量控 制器產品。該產品配備有電磁比例閥、不銹鋼1.4435接液材質、高精度微機電流量芯片等,具有精度高、 響應速度快、穩 定性好等特點。 操作 使用方便,可任意位置安裝,廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制 氣配氣等行業 。

kewill超微量氣體流量計

特點

分析和環保 半導體加工 燃燒控制器 真空技術 表面處理 食品和制藥 化工(石化)等過程控制

應用

溫度和壓力不敏感 *的零點穩定性 超快的響應速度 良好的重復性和再現性 多種信號輸出方式 配備高*比例電磁閥

技術參數

核心參數說明


介質要求:

潔凈干燥無腐蝕性氣體

介質種類:

空氣、氮氣、氬氣、二氧化碳


氦氣、氫氣、甲烷、氧氣等

量程:

0...50/100/500/1000 SCCM(每分鐘標準毫升)


0...5/20 SLM(每分鐘標準升)

精度:

1.0% F.S


1.5% F.S.

分辨率:

*低 0.01SCCM(每分鐘標準毫升)

響應時間:

≤1S



環境條件


介質溫度:

0...50

工作溫度:

-20...70

工作濕度:

10%...90%RH(無結冰,無凝露)

工作壓力:

0...10bar

儲存溫度:

-20...85



電氣參數


供電電壓:

DC24V

功耗:

2.4W

啟動時間:

<1S

預熱時間:

<10mS


信號類型


模擬信號(電流、電壓)


接口類型:

D-SUB 9

電壓信號:

0...5V & 1...5V

電流信號:

4...20mA



數字信號(RS485


接口類型:

RJ45D-SUB 9

通信速率:

4800,9600(默認),14400,19200,38400,56000,57600,


115200,28000,230400,256000,460800,500000 (可


通過指令或者上位機修改)

協議:

RS485(默認 Modbus-RTU協議)

設備地址:

1(默認)-250(可通過指令或者上位機修改)

*大節點數:

250



機械參數


接頭類型:

卡套:8mm12mm


快插:6mm8mm


協議定制

主體材質:

接液底座:陽極氧化鋁合金


不銹鋼1.4301(不銹鋼304)


不銹鋼1.4435(不銹鋼316L)


外殼:碳鋼

密封材質:

FKM 氟橡膠

重量:

:≈0.75kg


不銹鋼:≈1.5kg


尺寸圖

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選型表

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訂貨提示

1.訂貨時請注明介質流向,介質種類,管徑及期望測量區間值。我們可在出廠時幫您完成精確校驗。2.若是黏性介質,請注明黏度,溫度及介質種類。

3.若是氣體介質,請注明壓力(表壓/絕壓),溫度及介質種類。






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